MKS質(zhì)量流量計(jì)GE50A013502C4V020*走貨中
GE50A是通用的，彈性體密封的MFC，非常適用于各種需要流量控制能力從5 sccm到50 slm N2的應(yīng)用當(dāng)量。GE50A集成了比較新的數(shù)字流量控制電子設(shè)備以及久經(jīng)考驗(yàn)的，熱傳感器和機(jī)械設(shè)計(jì)。
質(zhì)量流量計(jì)測(cè)量原理和結(jié)構(gòu)
截取一根支管，流體在其內(nèi)以速度 v 從 A 端流向 B 端，將此管置于以角速度 ω 旋轉(zhuǎn)的系統(tǒng)中。由于管內(nèi)流體質(zhì)點(diǎn)在軸向以速度 v，在徑向以角速度 ω運(yùn)動(dòng)，此時(shí)流體質(zhì)點(diǎn)受到一個(gè)切向 Fc。這個(gè)力作用在測(cè)量管上，在作用點(diǎn)兩邊方向相反，大小相同，為:Fc =2ωvδm。Fc 就是科氏力 。
質(zhì)量流量計(jì)是以科氏力為基礎(chǔ)，傳感器內(nèi)部有兩根平行 T 型振管，中部裝有驅(qū)動(dòng)線圈，兩端裝有拾振線圈，變送器提供激勵(lì)電壓加到驅(qū)動(dòng)線圈上時(shí)，振動(dòng)管作往復(fù)周期振動(dòng)，流體介質(zhì)流經(jīng)傳感器振動(dòng)管，就會(huì)使振管上產(chǎn)生科氏力效應(yīng)，使兩根振管扭轉(zhuǎn)振動(dòng)，安裝振管兩端拾振線圈將產(chǎn)生相位不同兩組信號(hào)，這兩個(gè)信號(hào)差與流經(jīng)傳感器流體質(zhì)量流量成比例關(guān)系。通過(guò)測(cè)量并計(jì)算這兩個(gè)信號(hào)差就可以得到質(zhì)量流量。
2 影響質(zhì)量流量計(jì)測(cè)量的因素
影響質(zhì)量流量計(jì)測(cè)量的因素有很多，如儀表的基本誤差，零點(diǎn)穩(wěn)定度、重復(fù)性誤差，這些誤差可以從質(zhì)量流量計(jì)的設(shè)計(jì)和制造方面來(lái)修正。質(zhì)量流量計(jì)在安裝和使用過(guò)程中也會(huì)產(chǎn)生一定的誤差，如周?chē)h(huán)境強(qiáng)烈的機(jī)械振動(dòng)，液體介質(zhì)夾氣，流量計(jì)不滿管等，都會(huì)影響質(zhì)量流量計(jì)的測(cè)量。從質(zhì)量流量計(jì)的工作原理可知，它是基于振動(dòng)的原理進(jìn)行測(cè)量的儀表，而外界的機(jī)械振動(dòng)所產(chǎn)生的諧振波勢(shì)必會(huì)干擾儀表自有的振幅和頻率，影響測(cè)量精度。因此在初期應(yīng)規(guī)范儀表的安裝，盡量避免有機(jī)械振動(dòng)的地方，遠(yuǎn)離泵房、機(jī)組等振動(dòng)源。安裝時(shí)采用無(wú)應(yīng)力安裝，流量計(jì)前后直管段應(yīng)安裝固定支架。
機(jī)械振動(dòng)的因素通過(guò)規(guī)范安裝是可以避免的，但在實(shí)際生產(chǎn)中，由于工藝介質(zhì)的因素導(dǎo)致質(zhì)量流量計(jì)測(cè)量不準(zhǔn)的現(xiàn)象時(shí)有發(fā)生。以下結(jié)合中海油惠州煉化 228 單元汽車(chē)裝車(chē)質(zhì)量流量計(jì)的使用情況，分析介質(zhì)因素對(duì)質(zhì)量流量計(jì)測(cè)量的影響。
3 系統(tǒng)集成及數(shù)據(jù)采集方案228 單元液化氣汽車(chē)裝車(chē)鶴位構(gòu)成如圖 1，液化氣自灌區(qū)來(lái)，經(jīng)過(guò)兩臺(tái)泵加壓，輸送至距灌區(qū) 600 m遠(yuǎn)的 228 單元 6 個(gè)液化氣裝車(chē)鶴位。裝車(chē)過(guò)程為:液化氣由液相管線經(jīng)流量計(jì)計(jì)量后輸送至汽車(chē)槽車(chē)內(nèi)，在開(kāi)始裝車(chē)后前 3 min，批量發(fā)油控制器(批控器)控制液相調(diào)節(jié)閥在 50% 開(kāi)度，3 min 后閥門(mén)全開(kāi)。由于槽車(chē)初始?jí)毫Φ?，液化氣在進(jìn)入槽車(chē)后有氣化現(xiàn)象，槽車(chē)內(nèi)氣相由氣相線經(jīng)氣相質(zhì)量流量計(jì)計(jì)量后返回裝置。
GE50A數(shù)字控制MFC可提供模擬或數(shù)字I / O。數(shù)字化控制電子器件采用比較新的MKS控制算法，可提供快速，可重復(fù)的功能在整個(gè)設(shè)備控制范圍內(nèi)對(duì)設(shè)定點(diǎn)的響應(yīng)。典型的響應(yīng)時(shí)間在500毫秒的量級(jí)。
MKSDA01A.1TGAS24AH0
MKSGE50A015103RBVO2O/氧氣/10000SCCM
MKSGE50A029204R5B020NH320SLM/1020497A
MKS51B11TGA2BA.75
MKS226A-29554
MKSMODEL:631C01TMFH
MKS626C11TDE
MKSMKS100006842
MKS901P-11030
MKSMFC;1179A01522CR1AV-K;O2;200sccm
MKSTYPE 626
MKSRANGE:30000 SCCM 12
MKSGE50A007104S4V020(H2)
MKSGE50A015502S4V020(O2)
MKSGE50A028102S4V020(CH4)
MKS021962527
MKS021917581
MKS624f53tcecb 5000torr 1/2英寸VCR母頭
MKS870b12pcd4gd1 100psis 1/4英寸VCR母頭
MKS690a53trb 5000torr 1/4英寸vcr母頭
MKS100312706
MKS103250010
MKS925c-11010
MKSMKS 1/W-L-24V.max.24v/DC/1A/50W
MKSMKS/GV202/20305416
MKS0248A-14128
MKSGE50A 1000SCCM
MKSPR4000B Channels S(單通道） Digital interface 2 (通訊接口RS232） Transducer input :(0-10)V Power supply:2(15V大電流供電）
MKSMF1C01352CSAVO N2 Range:500sccm -MKS
MKS626C13TBE
MKS626C11TBE
MKSGM100A
MKS627B12TDC1B100T088
MKS627B01TBC1B
MKS1479A01324CS1 BM20000SCCM
MKSAA01A21MGAS3B00000
MKS0248A-10000SV
MKSModel:1579A01315CS14V601 SN:G565916G20
MKS1179BX53CR14NSPC1 3000sccm/NH3
MKS626C11TDE
MKSGE50A004502S4V010
MKS154-0100P
MKS901P-11030
MKSGE50A013501R4V020
MKSSERIRAL:017848238 MODLE:627B12TDC18
MKS1179BX53CR14NSCP1 3000 SCCM
MKS1179BX23CR14VSPC1 1000 SCCM
MKSSFAKP90B4/2000A
MKS021944200 41B11DGA2BA000
MKS022101514 51B11TGA2BA010
MKSSFAKP90B4/2000A
MKSSFAKP90B4/2000A
MKS121AA-5000-B
MKSRS-485 3000SCCM
MKSRS-485 3000SCCM
MKS722B12TFB2FA
MKS722B12TFB2FA
MKS649A-22636
MKS021847258
MKS622B11TDE
MKSP2A013201RAT1
MKSFU251 直流24V
MKSMFC 1000SCCM 硅烷
MKS622 PRESSURE
MKS628D11TDE1B 010480100
MKS154-0100P
MKS627B11TBC1B
MKS275806-EV
MKS722B13TCE2FA
MKS722B11TGA2FA
MKS141A-32044
MKS141AA-01000DB
MKS627B11TBC1B
MKSM100B06323CS1BV
MKS627B11TBC1B
MKS910-11030
MKS627B01TBC1B
MKS627B12TDC1B
包括數(shù)字校準(zhǔn)，可產(chǎn)生設(shè)定點(diǎn)精度的1%在校準(zhǔn)氣體上。 GE50A的模擬和數(shù)字I / O可以輕松用于替換與1179A MFC相同的I / O類型。所有GE50A均包含Modbus。輔助I / O(不包括PROFINET®和EtherCAT®)。
GE50A利用3sccm的MFC比較常使用的標(biāo)準(zhǔn)3英寸占位面積到50 slm的流量范圍，無(wú)需修改現(xiàn)有的氣體管線即可使用配置。 GE50A的設(shè)計(jì)采用了比較少的彈性體。有僅一個(gè)外部彈性體密封件和彈性體閥塞。
否則，所有濕潤(rùn)的表面是金屬的。 GE50A標(biāo)配Viton®密封件以及Buna選件，Neoprene®，EPMD或Kalrez®允許設(shè)備使用需要以下氣體之一的氣體備擇方案。 GE50A MFC具有常閉型或常開(kāi)型閥。
MKS質(zhì)量流量計(jì)GE50A013502C4V020*走貨中
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