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德國REXROTH伺服閥滑閥式：采用動圈式力馬達，結構簡單，功率放大系數(shù)較大，滯環(huán)小和工作行程大；固定節(jié)流口尺寸大，不易被污物堵塞；主滑閥兩端控制油壓作用面積大，從而加大了驅(qū)動力，使滑閥不易卡死，工作可靠。
德國REXROTH伺服閥輸入控制電流使力馬達動圈產(chǎn)生的電磁力與對中彈簧的彈簧力相平衡，使動圈和前置級（控制級）閥心（控制閥芯）移動，其位移量與動圈電流成正比。前置級閥心（控閥芯）若向右移動，則滑閥右腔控制口·面積增大，右腔控制壓力降低；左側控制口面積減小，左腔控制壓力升高。該壓力差作用在功率級滑閥閥心（即前置級的閥套）的兩端上，使功率級滑閥閥心主滑閥）向右移動，也就是前置級滑閥的閥套（主滑閥）向右移動，逐漸減小右側控制孔的面積，直至停留在某一位置。在此位置上，前置級滑閥副的兩個可變節(jié)流制孔的面積相等，功率級滑閥閥心（主滑閥）兩端的壓力相等。這種直接反饋的作用，使率級滑閥閥心跟隨前置級滑閥閥心運動，功率級滑閥閥心的位移與動圈輸入電流大小成比。
伺服閥與比例閥之間的差別并沒有嚴格的規(guī)定，因為比例閥的性能越來越好，逐漸向伺服閥靠近，所以近些年出現(xiàn)了比例伺服閥。
比例閥和伺服閥的區(qū)別主要體現(xiàn)在以下幾點：
驅(qū)動裝置不同。比例閥的驅(qū)動裝置是比例電磁鐵；伺服閥的驅(qū)動裝置是力馬達或力矩馬達；
性能參數(shù)不同。滯環(huán)、中位死區(qū)、頻寬、過濾精度等特性不同，因此應用場合不同，伺服閥和伺服比例閥主要應用在閉環(huán)控制系統(tǒng)，其它結構的比例閥主要應用在開環(huán)控系統(tǒng)及閉環(huán)速度控制系統(tǒng)；
伺服閥中位沒有死區(qū)，比例閥有中位死區(qū)；
伺服閥的頻響（響應頻率）更高，可以高達200Hz左右，比例閥一般高幾十Hz；
伺服閥對液壓油液的要求更高，需要精過濾才行，否則容易堵塞，比例閥要求低一些；
閥芯結構及加工精度不同。比例閥采用閥芯+閥體結構，閥體兼作閥套。伺服閥和伺服比例閥采用閥芯+閥套的結構。
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